في عملية الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD)، يؤثر كل اتصال كهربائي، بدءًا من نقل طاقة الترددات الراديوية وصولًا إلى التحكم في غاز العملية، بشكل مباشر على تجانس ترسيب الأغشية الرقيقة وإنتاجية الرقائق. في ظل البيئة القاسية للمعدات المصغرة، والفراغ العالي، والتداخل الكهرومغناطيسي القوي،واجوأصبحت موصلات picoMAX®، بمزاياها الأساسية الثلاث المتمثلة في "صغر الحجم والموثوقية والكفاءة"، الحل الأمثل للتوصيل لأنظمة PECVD.
تصميم مبتكر صغير الحجم
التكيف مع تصميمات غرف الاحتراق الدقيقة
المساحة الداخلية لمعدات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) محدودة، مما يستلزم ترتيبًا كثيفًا لخطوط الطاقة والإشارة والاستشعار حول حجرة التفاعل. يستخدم جهاز picoMAX® تصميمًا أحادي الزنبرك مزدوج الفعل، مع توفر خيارات متعددة لتباعد الدبابيس (3.5/5.0/7.5 مم). بعد التوصيل، يشغل مساحة أقل بنسبة 30% من المنتجات السابقة، ويتكيف تمامًا مع متطلبات التوصيل حول الحجرة. يتم دمج موصله ذي الفتحة بالكامل تقريبًا في رأس الدبوس، مما يدعم التجميع جنبًا إلى جنب دون فقدان أي أقطاب، ويُحسّن بشكل كبير من استخدام لوحة الدوائر، ويسمح بترتيب منظم لخطوط الإشارة والطاقة دون التأثير على مجال تدفق غاز العملية.
حماية قوية ضد ظروف التشغيل القاسية
تتضمن عمليات الترسيب الكيميائي للبخار المعزز بالبلازما (PECVD) بيئات فراغية عالية، وبلازما عالية التردد، واهتزازات، مما يفرض متطلبات صارمة على موثوقية الموصلات. يتميز موصل picoMAX® ببنية ثابتة ومقاومة للاهتزازات تصل إلى 12g، مما يمنع ارتخاء التوصيلات الناتج عن الاهتزازات عالية التردد. كما أنه مزود بتصميم مضاد للإدخال الخاطئ وجهاز قفل، مما يقضي على أخطاء التركيب ويمنع الفصل العرضي، ويضمن استمرار تشغيل المعدات دون توقف.
توصيل سريع بدون أدوات
تتميز تقنية picoMAX® بتقنية التوصيل السريع بدون أدوات، مما يسمح بتوصيلات "التوصيل والتثبيت" للأسلاك أحادية ومتعددة الخيوط باستخدام موصلات مضغوطة على البارد. يتم إنجاز توصيلات الأسلاك المعقدة في خطوة واحدة، مما يحسن كفاءة التجميع بشكل ملحوظ ويقلل من دورات تصحيح الأخطاء. يتوافق التصميم المعياري مع عمليات لحام إعادة التدفق، مما يلبي احتياجات خفض التكاليف للإنتاج الآلي. كما أنه يغطي جميع سيناريوهات توصيل PECVD: حيث تستوعب مسافة الدبابيس 3.5 مم أسلاك الإشارة من 0.2 إلى 1.5 مم²، بينما تدعم مسافة الدبابيس 5.0/7.5 مم خطوط الطاقة 16 أمبير. يدعم طرق التركيب من السلك إلى اللوحة ومن خلال الجدار، ويتوافق مع أسلاك خزانة التحكم والتجاويف، ويتوافق مع معايير السلامة الكهربائية GB/T 5226.1، مما يوفر حماية قوية لاستقرار العملية.
في صناعة أشباه الموصلات، حيث تعتبر دقة العمليات على مستوى النانومتر أمراً بالغ الأهمية، فإن الوصلات الموثوقة هي الضمانة للإنتاجية العالية.واجويُحقق منتج picoMAX®، بتصميمه الثوري، "صغر الحجم والأداء العالي" ضمن مساحة صغيرة، موفراً حلول توصيل مستقرة وفعالة وطويلة الأمد لمعدات PECVD. وهذا يُساعد مُصنّعي أشباه الموصلات على التغلب على تحديات توصيلات العمليات الدقيقة، ضامناً دقة كل شريحة على مستوى الميكرومتر.
تاريخ النشر: 13 مارس 2026